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三氟化氮 （NF3)
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項目名稱 |
純度指標（%） |
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三氟化氮 |
≥99.99 |
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雜質含量（ppm) |
氮氣（N2） |
≤5 |
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氧氣+氬氣（O2+Ar） |
≤3 |
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二氧化碳（CO2） |
≤5 |
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一氧化碳（CO) |
≤1 |
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四氟化碳（CF4) |
≤40 |
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水（H2O） |
≤1 |
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六氟化硫（SF6） |
≤5 |
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氟化氫（HF） |
≤1 |
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氧化亞氮（N2O） |
≤5 |
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包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途：NF3是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。
理化性質: 在常溫常壓下 , 三氟化氮為無色、無臭、性質穩定的液化氣體，高純三氟化氮幾乎沒有氣味，它是一種熱力學穩定的氧化劑，大約在 350 ℃左右可離解成為二氟化氮和氟氣，故其反應性相似于氟。
注意事項：
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規定運輸，國外規定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機運輸。氣瓶充裝系數不大于0.01。
2.儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、還原劑、食用化學品分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
