上海彌正氣體有限公司
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六氟化硫 (SF6)
項(xiàng)目名稱 |
純度指標(biāo)(%) |
||
六氟化硫 |
≥99.999 |
≥99.99 |
|
雜質(zhì)含量(ppm) |
空氣(Air) |
≤5 |
≤30 |
水(H2O) |
≤1 |
≤1 |
|
四氟化碳(CF4) |
≤4 |
≤30 |
|
酸度(Acidity) |
≤0.1 |
≤0.1 |
|
可水解氟化物(以HF計(jì)) |
≤0.1 |
≤0.2 |
|
礦物油(Mineral Oil) |
≤0.5 |
≤0.5 |
包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到2-10L的氣瓶中。
用途:在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源,不會(huì)產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品;
變壓器中的絕緣介質(zhì);
金屬冶煉中的保護(hù)氣氛;
六氟化硫斷路器、互導(dǎo)傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體
電子級(jí)高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域
作為光導(dǎo)纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑
作為大氣污染監(jiān)測(cè)和水文地質(zhì)檢測(cè)領(lǐng)域的示蹤劑
肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途
理化性質(zhì): 六氟化硫(SF6)常態(tài)下是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)嗅、無(wú)毒的非燃燒性氣體,分子量146.06,密度6.139g/l,約為空氣的5倍。是已知化學(xué)安定性最好的物質(zhì)之一,其惰性與氮?dú)庀嗨啤K哂袠O好的熱穩(wěn)定性,純態(tài)下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的電絕緣性和滅弧特性,相同條件下,其絕緣能力為空氣、氮?dú)獾?.5倍以上,滅弧能力為空氣的100倍。六氟化硫的熔點(diǎn)為-50.8℃,可作為-45-0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑,又因其耐熱性好,是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。
注意事項(xiàng):
密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。