上海彌正氣體有限公司
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三氟甲烷 (CHF3)
項目名稱 |
純度指標(%) |
||
三氟甲烷 |
≥99.999 |
≥99.9 |
|
雜質含量(ppm) |
水(H2O) |
≤3 |
≤10 |
氧氣(O2) |
≤2 |
- |
|
氮氣(N2) |
≤5 |
- |
|
二氧化碳(H2SiF6) |
≤3 |
≤100 |
|
酸度(Acidity) |
≤0.1 |
≤1 |
包裝:采用40L、47L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途:用作電子工業等離子體化學蝕刻劑、低溫(-100℃)制冷劑及氟有機化合物的原料。
理化性質: 是一種無色、微味,不導電的低毒類氣體,是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,對腦神經有損害。液體接觸時可能引起凍傷。
注意事項:儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易(可)燃物分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。