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產品展示--氨氣

product

氨氣

氨氣 NH3)

 

項目名稱

純度指標(%

氨氣

≥99.99999

≥99.999

雜質含量(ppm)

氮氣(N2

≤0.01

≤3

氧氣(O2

≤0.01

≤2

碳氫化合物(THC

≤0.02

-

水(H2O)

≤0.06

≤1

一氧化碳(CO))

0.01

≤1

二氧化碳(CO2

≤0.05

-

甲烷(CH4

-

≤3

包裝:采用40L、44L、47L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要,分裝到8—10L的氣瓶中。 

 

用途:用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜

 

理化性質通常為無色有強烈刺激性氣味,常溫下加壓可液化,臨界溫度132.9℃,臨界壓力11.38MPa,常壓下冷卻到-33.35℃時液化。液氨揮發性很強,氣化時吸熱很大,在-77.75℃時凝固成無色結晶。氨極易溶于水,并放出熱量。氨的水溶液稱為氨水,呈弱堿性,易揮發。自燃點630℃,在空氣中遇火能爆炸。

常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為16%~28%(體積)。

 

注意事項:

1、工作時應選用耐腐蝕的工作服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩,防毒口罩應定期檢查,以防失效。

2、在使用氨水作業時,應在作業者身旁放一盆清水,以防萬一;在氨水運輸過程中,應隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺,以備急救沖洗;配制一定濃度氨水時,應戴上風鏡;使用氨水時,作業者應在上風處,防止氨氣刺激面部;操作時要嚴禁用手揉擦眼睛,操作后洗凈雙手。

3、配備良好的通風排氣設施、合適的防爆、滅火裝置。

4、工作場所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花。

5、應急救援時,必須佩帶空氣呼吸器。

6、發生泄漏時,將泄漏鋼瓶的滲口朝上,防止液態氨溢出。

7、加強生產過程的密閉化和自動化,防止跑、冒、滴、漏。

8、使用、運輸和貯存時應注意安全,防止容器破裂和冒氣。

9、現場安裝氨氣監測儀及時報警發現。

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